半导体级超级洁净精密EP管材项目

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行业材料,建筑工程

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1. 超高纯不锈钢多重组合精炼技术:项目基于对超高纯不锈钢杂质来源和引入机制的研究,首先通过控制原材料品质从源头上消除杂质来源,而后采用多重高纯度精炼技术,实现深度脱氢和脱氧、多层次除杂净化,将气体元素和非金属夹杂 物对超高纯不锈钢材料的影响降至行业最低水平。 2. 管棒材铸锻-成型-热处理全流程组织控制技术:超高纯不锈钢管棒材要求组织 均匀、细晶,而在钢材加工过程中晶粒组织具有一定的遗传性,通过单道工艺的 控制实现的难度较大。项目拟基于管棒材铸造-成型-热处理整个过程中的晶粒组织 演化规律,通过对整个加工流程的控制,实现加工流程持续的均匀化、细晶化控 制,满足高均匀细晶组织的要求。3. 超高纯钢管内表面质量集成控制技术:半导体和 IC 装备高纯气体输送管要求内 壁极其光滑,而管内部的粗糙度不仅取决于光亮技术,也在很大程度上取决于夹 杂物尺寸和密度、TIG 焊接表面沉积行为。为此,本项目通过控制非金属夹杂物含 量抑制夹杂导致的表面粗化,通过降低 Mn、S 含量及控制焊接热输入,降低焊接 时产生粒子数量,达到实现高光亮的必要条件,最后通过优化光亮退火和电解抛 光工艺,达到极低的内壁表面粗糙度。

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